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真空電源從“Nokia”到“Iphone”

用戶體驗,是PVD電源的未來發(fā)展方向。以HipIMS-400A電源為例。

2023425日,新鉑科技創(chuàng)始人田修波教授受邀參加了中國真空鍍膜行業(yè)發(fā)展趨勢高峰論壇(成都,在論壇上做了“新型智能HiPIMS電源及高能脈沖PVD裝備”的主題報告。報告主要聚焦于真空鍍膜電源和裝備的未來走向,他強調(diào):體驗感是人類永恒的話題;技術(shù)進步源于需求和興趣;市場需求永遠是PVD硬件裝備的魂。

田教授的報告,從航天飛行的全景效應(yīng)展開。只有跳出地球才能看清地球。同樣對于PVD的電源及裝備也是如此。只有跳出PVD,才能發(fā)現(xiàn)PVD的未來走向。

他以吃飯、走路均可控的HiPIMS電源”,為演講的開始。

提出PVD電源及裝備的未來走向一定是新體驗,讓PVD電源不單純的冷冰冰的電源,也不需要等測試結(jié)果在好幾天后才可以得到反饋。讓PVD工藝和工藝預(yù)測及反饋變得更快,更及時。

傳統(tǒng)的PVD電源有所不同,新型的磁控電源更具有親和感,研發(fā)更具“快樂”。

電源可以給工藝提出建議、可以提供內(nèi)部波形、提供參考數(shù)據(jù)庫等等(與工藝內(nèi)在的物理就像與人交流,在有問題的地方可以迅速反饋出來,讓工藝和研發(fā)變得更加體驗感和互動感,不再像是對著一個單純的機器那般那么枯燥無助。

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他報道的HiPIMS-400A電源具有

.便捷性,手機遙控功能,走路吃飯或運動時均可控制正在進行的實驗無需時時刻刻關(guān)注設(shè)備,只需要掏出手機一看,即可改變各種參數(shù)

.多種波形組合,可以獲得常規(guī)電源無法得到的工藝區(qū)間。

.內(nèi)置顯示單元可方便給出電壓電流等波形。

.具有專家數(shù)據(jù)庫,如CrNTIAlN等涂層,行業(yè)頂尖的科學家在用什么參數(shù)做,使得初手設(shè)計工藝更加簡單和快捷。

.電源自身可以編程優(yōu)化工藝參數(shù)

.該電源無需經(jīng)過中央控制系統(tǒng)即可與其他電源可以直接通訊。

.該系統(tǒng)具有與最佳參數(shù)的比對功能,大概率告訴此爐與最佳工藝有多少偏差,進而判斷本爐的產(chǎn)品質(zhì)量。

.該電源具有自打分功能,讓工藝人員變得不再枯燥。等等。


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雙脈沖HiPIMS比傳統(tǒng)HiPIMS沉積速率提高近3倍

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