鍍膜工藝技術(shù)分類和理論
鍍膜工藝技術(shù)分類和理論如下:
鍍膜工藝技術(shù)分為真空蒸發(fā)鍍膜、電阻式蒸發(fā)鍍膜、電子束蒸發(fā)鍍膜等。
真空蒸發(fā)鍍膜是把待鍍膜的基片或工件置于高真空室內(nèi),通過加熱使成膜材料氣化(或升華)而淀積到基片或工件表面上,從而形成一層薄膜的工藝過程。
電阻式蒸發(fā)鍍膜是蒸發(fā)源是真空蒸發(fā)鍍膜機的關(guān)鍵部件,根據(jù)蒸發(fā)源的不同可將真空蒸發(fā)鍍膜分為以下幾種:蒸發(fā)源電子束加電子束加熱式熱式電阻加熱電阻加熱式式感應(yīng)加熱感應(yīng)加熱熱熱激光加熱式激光加熱式蒸發(fā)源電子槍加熱電阻高頻螺旋線圈大功率激光器優(yōu)點可蒸鍍高熔點膜材,蒸發(fā)速率快,膜材不受容器污染,可蒸鍍高純度薄膜。結(jié)構(gòu)簡單造價便宜適合大批量生產(chǎn)。蒸發(fā)速率大(電阻式10倍),溫度均勻??烧舭l(fā)高熔點面膜材,激光器只能裝在真空室外對薄膜污染少。蒸發(fā)裝置屏蔽需要高頻發(fā)射器。
電子束蒸發(fā)鍍膜的電子槍燈絲是損耗零件,需定期更換。