hipims技術(shù)是物理還是化學
HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)技術(shù)是一種物理上的表面處理技術(shù),它結(jié)合了直流磁控濺射(DCMS)和脈沖功率供應,以實現(xiàn)更高的能量和離子密度。
在HIPIMS技術(shù)中,使用了脈沖電源來提供高峰值電流密度和瞬態(tài)功率。這使得電子能量增加,離子密度增加,并且電子和離子擊中目標表面的動能增加。這種高能量的電子和離子束對于改善薄膜沉積過程和表面處理非常有用。
在HIPIMS過程中,通過在磁控濺射的過程中應用高能量脈沖,使得離子可以從濺射源(通常是靶材)中被“拍出”,形成高能離子束。這些離子在到達基底材料表面時可以改善薄膜的質(zhì)量和特性,例如增強附著力、提高硬度、改善耐磨性等。此外,由于脈沖特性,HIPIMS技術(shù)還可以在表面形成微觀效應,如納米結(jié)構(gòu)或堆積效應。
盡管HIPIMS技術(shù)是一種物理上的表面處理技術(shù),但與其他表面處理技術(shù)相比,它的工藝參數(shù)更加復雜,更多的是通過調(diào)節(jié)脈沖參數(shù)(如脈沖頻率、脈沖寬度、脈沖幅度等)來實現(xiàn)所需的沉積或改性效果。此外,HIPIMS技術(shù)還受到目標材料的特性和處理環(huán)境的影響。
總之,HIPIMS技術(shù)是一種物理上的表面處理技術(shù),通過使用特定的脈沖電源來增加離子能量和密度,以改善薄膜沉積和表面處理的效果。它是一種先進的表面處理技術(shù),已經(jīng)在各種領(lǐng)域,如刀具涂層、鍍膜和微電子等方面取得了廣泛的應用。