2024大灣區(qū)高能脈沖PVD論壇在莞舉行

12月14日，“2024大灣區(qū)高能脈沖PVD論壇”在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室舉辦。此次論壇由松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、材料結(jié)構(gòu)精密焊接與連接全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合舉辦，由高能脈沖PVD電源的領(lǐng)軍企業(yè)新鉑科技東莞有限公司提供支持。

論壇得到了廣東省真空學(xué)會(huì)、深圳市真空技術(shù)行業(yè)協(xié)會(huì)、深圳市真空學(xué)會(huì)的大力支持，匯集了松山湖材料實(shí)驗(yàn)室、華南理工大學(xué)、北京大學(xué)深圳研究生院、季華實(shí)驗(yàn)室、哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）等單位的近20名專家學(xué)者上臺(tái)分享。會(huì)議聚焦“高能脈沖磁控”“脈沖弧”等高能脈沖PVD的新電源、新結(jié)構(gòu)、新性能，進(jìn)而賦能半導(dǎo)體、醫(yī)療器械、光學(xué)儀器、汽車、航空航天、電子信息等多個(gè)領(lǐng)域，吸引了北京大學(xué)、浙江大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院固體所、中國(guó)科學(xué)院金屬所、中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所、中國(guó)散裂中子源、華為公司、OPPO、華星光電、中國(guó)航發(fā)哈爾濱東安發(fā)動(dòng)機(jī)有限公司等近百家企事業(yè)單位250多名代表參會(huì)。

作為松山湖材料實(shí)驗(yàn)室等離子團(tuán)隊(duì)的帶頭人，哈爾濱工業(yè)大學(xué)田修波教授召集組織了此次論壇。開(kāi)幕式上，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室黨委副書記/主任助理王玉文、哈工大材料結(jié)構(gòu)焊接與連接全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任亓鈞雷、廣東真空學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)劉彭義等分別致歡迎辭。基于PVD產(chǎn)業(yè)的技術(shù)升級(jí)，他們呼吁PVD行業(yè)要不斷創(chuàng)新，在組件制造、工藝和裝備等方面加大研發(fā)和突破，發(fā)揮大灣區(qū)PVD產(chǎn)學(xué)研生態(tài)協(xié)同效應(yīng)，推進(jìn)PVD相關(guān)行業(yè)發(fā)展。

田修波教授指出，高能脈沖PVD在一定程度上代表著PVD核心技術(shù)的未來(lái)，基于高能脈沖放電誘導(dǎo)的高密度等離子體有助于膜層結(jié)構(gòu)的精密設(shè)計(jì)，尤其是復(fù)合波形智能控制的脈沖電源，可被稱為“膜層的魔術(shù)師”，甚至在原子尺度上進(jìn)行膜層構(gòu)建。這將大大提高膜層的結(jié)合力、致密性以及綜合性能，但是高能脈沖電源與傳統(tǒng)的電源相比難以控制，給使用者帶來(lái)很多困擾。

此次論壇不僅對(duì)高能脈沖PVD技術(shù)的未來(lái)走向進(jìn)行研討，更是為與會(huì)者提供的薄膜底層設(shè)計(jì)以及等離子體控制方法的深度理解。此外，論壇還強(qiáng)調(diào)產(chǎn)研融合、生態(tài)發(fā)展，不少專家紛紛對(duì)PVD的創(chuàng)新技術(shù)表達(dá)了積極看法，探討了如何更好地解決PVD行業(yè)的問(wèn)題，探索可能的合作共贏的生態(tài)模式，希望協(xié)力推動(dòng)PVD相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)升級(jí)，進(jìn)而賦能大灣區(qū)經(jīng)濟(jì)的更快發(fā)展。

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