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行業(yè)動態(tài)

真空鍍膜的方法有什么?

(1)真空蒸發(fā):將需要涂膜的基材清洗干凈,放入涂膜室。膜材料抽真空后加熱至高溫,使水蒸氣達(dá)到13.3Pa左右,水蒸氣分子飛到基板表面凝結(jié)成膜。

(2)陰極濺射電鍍:將需要鍍膜的基體放在陰極對面,進(jìn)入惰性氣體如氬氣)需要到室內(nèi),保持壓力在1.33 ~ 13.3 Pa左右,然后將陰極接在2000 v直流電源上,激發(fā)輝光放電,帶正電的氬氣離子撞擊陰極,注入原子,通過薄膜濺射出原子,在惰性氣氛中向基板上形成。

(3)化學(xué)氣相沉積:對選定的金屬化合物或有機(jī)化合物進(jìn)行熱分解,獲得沉積膜的過程。

(4)離子鍍:離子鍍本質(zhì)上是真空蒸發(fā)鍍和陰極濺射鍍的有機(jī)結(jié)合,具有兩種工藝特點(diǎn)。各種涂裝方式的優(yōu)缺點(diǎn)如表6-9所示。


HIPIMS脈沖磁控濺射的工作原理

2022-06-08

真空鍍膜的特點(diǎn)

2022-06-08